金屬材料都是通過熔煉和鑄造得到的，在此過程中，空氣中的氫、氧、氮、碳的氧化物不同程度地熔于材料之中。存放材料時(shí)，其表面通過物理或化學(xué)吸附還會(huì)吸附大量氣體，主要是水蒸氣、氧、氮、碳的氧化物等。材料加工過程中的再污染及其本身的非致密性引起的滲透，這些因素就構(gòu)成了真空中的主要?dú)庠础?/span>

超高真空所需要的材料，除滿足真空材料的一般要求外，還應(yīng)滿足下列要求：

①在烘烤溫度下，材料不應(yīng)該喪失其力學(xué)性能；殼體材料能承受外部大氣壓力。一般低熔點(diǎn)金屬和軟玻璃滿足不了這種要求。

②材料在烘烤溫度下的蒸氣壓要低。

③材料的滲透氣體量不能超過允許值。

④材料加熱時(shí)不易變形。

⑤材料表面容易拋光。

從以上要求出發(fā)，適于超高真空中的通用材料有：

不銹鋼—超高真空系統(tǒng)中的主要用材，常用作殼體、管道、法蘭以及各種真空元件。我國(guó)常用的1Cr18Ni9Ti，美國(guó)多用304不銹鋼。不銹鋼材質(zhì)很好，但采用焊接工藝不當(dāng)，亦會(huì)造成晶間腐蝕、熱裂縫、氣孔、奧氏體焊縫脆化等缺陷，影響殼體的氣密性。

氧化鋁陶瓷——制作電極引入線的絕緣子和低損耗微波輸出窗

可伐——制作與玻璃或陶瓷的封接件

        金、銀、銅——高溫焊接及密封圈材料