不銹鋼滾輪導(dǎo)軌系統(tǒng)由不銹鋼V型導(dǎo)軌和全不銹鋼滾輪軸承組成的，可適用于超高真空應(yīng)用環(huán)境中。

分子束外延（MBE）設(shè)備的真空室為超高真空環(huán)境。超高真空通常用于表面科學(xué)設(shè)備中：一般來(lái)說(shuō)，空氣中的分子會(huì)附著在暴露于空氣中的固體的表面，并改變固體的表面特性；即使在10-6mba的高真空當(dāng)中，3秒之內(nèi)就會(huì)有一層分子附著在裸露的固體表面；然而在10-9 mbar的超高真空中，同樣的過(guò)程需要幾個(gè)小時(shí)才能完成，從而保證表面特性研究的正常開(kāi)展。

分子束外延是一種新的晶體生長(zhǎng)技術(shù)，其方法是將半導(dǎo)體襯底放置在超高真空腔體中，將需要生長(zhǎng)的單晶物質(zhì)分別放在不同的噴射爐中（也在腔體內(nèi)）；分別加熱到相應(yīng)溫度的各元素噴射出的分子流，能在上述襯底上生長(zhǎng)出極薄的單晶體和幾種物質(zhì)交替的超晶格結(jié)構(gòu)。