半導(dǎo)體芯片技術(shù)飛速發(fā)展，晶圓尺寸從3英寸逐步發(fā)展到12英寸，制程工藝早已從原來的微米級(jí)提升到了納米級(jí)，對(duì)生產(chǎn)車間的凈化要求也是越來越高，今天我們以EPC工程（總承包）集成服務(wù)商CEIDI西遞的某項(xiàng)目為例，具體聊聊半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)車間凈化工程。

該芯片凈化車間所有建材均采用不易產(chǎn)生靜電吸附的材質(zhì)為主。由于車間主要用于5英寸、6英寸芯片生產(chǎn)，所以采用隧道式布局，生產(chǎn)設(shè)備橫跨潔凈生產(chǎn)區(qū)和設(shè)備維護(hù)區(qū)。光刻、腐蝕、擴(kuò)散、蒸發(fā)、表面純化等工藝流程上會(huì)出現(xiàn)往復(fù)交叉頻繁的情況。在設(shè)計(jì)上要考慮到潔凈度對(duì)各工序均滿足生產(chǎn)要求。這時(shí)候萬級(jí)、千級(jí)、百級(jí)區(qū)域要根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝與產(chǎn)品負(fù)責(zé)人詳細(xì)調(diào)研對(duì)接。

CEIDI西遞在人物流及工藝流程設(shè)計(jì)時(shí)特別注意避免機(jī)械設(shè)備的擺放突兀，以免塵埃細(xì)菌等在凈化車間內(nèi)回旋停滯的機(jī)會(huì)過多、時(shí)間過長(zhǎng)。所有進(jìn)出潔凈車間的人員必須穿配套防塵服，除了眼睛部位外，均需與外界隔絕接觸，經(jīng)風(fēng)淋室除塵才能進(jìn)入，日常通過物體必須經(jīng)過風(fēng)淋室吹淋除掉表面粉塵才能進(jìn)入。

潔凈車間空氣流動(dòng)方向以由上往下為主，采用大型鼓風(fēng)機(jī)，將經(jīng)濾網(wǎng)的空氣源源不絕地打入潔凈室中，以保持內(nèi)部大于大氣壓的環(huán)境，保粉塵只出不進(jìn)。為保持溫度與濕度的恒定，用大型空調(diào)設(shè)備搭配鼓風(fēng)加壓系統(tǒng)，鼓風(fēng)機(jī)加壓多久，冷氣空調(diào)也開多久。暖通空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能布局要點(diǎn)如下：

1、潔凈度、溫濕度及其精度相同或相近的潔凈房間劃為一個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)，便于潔凈度和溫濕度的控制。

2、距離較近的潔凈房間劃為一個(gè)系統(tǒng)，減少系統(tǒng)管道的長(zhǎng)度和管道交叉。

3、將4級(jí)、5級(jí)單向流和6級(jí)、7級(jí)、8級(jí)非單向流組成混合流凈化空調(diào)系統(tǒng)。

4、潔凈室不與一般空調(diào)房間合為一個(gè)系統(tǒng)。

5、使用規(guī)律和使用時(shí)間不相同的潔凈室不合為一個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)。

6、產(chǎn)塵量大、發(fā)熱量大、有害物多、噪聲大的房間單獨(dú)設(shè)計(jì)為一個(gè)系統(tǒng)。

7、有劇毒和易燃易爆的甲、乙類房間單獨(dú)設(shè)系統(tǒng)，而且為不回風(fēng)的直流系統(tǒng)。

晶圓制造、晶圓測(cè)試、芯片封裝和封裝后測(cè)試這些代表著半導(dǎo)體不同產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)的生產(chǎn)車間工藝流程各異，需要在滿足產(chǎn)品生產(chǎn)要求的前提下進(jìn)行合理的規(guī)劃設(shè)計(jì)，依托豐富經(jīng)驗(yàn)的設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)和施工隊(duì)伍，能少走彎路盡快達(dá)成建設(shè)目標(biāo)。潔凈工程EPC集成服務(wù)商CEIDI西遞，人員資歷豐富，專業(yè)經(jīng)驗(yàn)充足，能幫助企業(yè)構(gòu)建經(jīng)濟(jì)、實(shí)用、安全可靠的生產(chǎn)環(huán)境條件，提高生產(chǎn)效率。