林德集團(tuán)（Linde）1879 年成立于德國(guó)，在法蘭克福證券交易所上市，股票代碼LIN.F，是全球領(lǐng)先的氣體和工程公司。林德主要分為三大業(yè)務(wù)部門(mén)，分別是工業(yè)氣體與醫(yī)療健康部門(mén)、工程部門(mén)和其他部門(mén)。林德?tīng)I(yíng)業(yè)收入從2009 年至2015 年整體呈上漲趨勢(shì)，自2009 年的的112.11 億歐元上漲至2015 年的173.45億歐元，年均復(fù)合增長(zhǎng)率達(dá)7.54%；2016 年，受石油和天然氣價(jià)格低迷和匯率波動(dòng)等負(fù)面影響，林德集團(tuán)業(yè)績(jī)有所下滑，營(yíng)業(yè)收入下跌至169.48 億歐元，跌幅2.28%。毛利潤(rùn)率方面，近年一直維持在35%左右，呈現(xiàn)穩(wěn)定態(tài)勢(shì)。

林德工業(yè)氣體與醫(yī)療健康部門(mén)主要為鋼鐵生產(chǎn)、化學(xué)工藝、食品加工和電子產(chǎn)品等行業(yè)提供各種壓縮與液化氣體以及化學(xué)品，同時(shí)還為快速增長(zhǎng)的醫(yī)療服務(wù)領(lǐng)域提供醫(yī)療用氣，部門(mén)2016 年實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入148.92 億歐元，占公司總營(yíng)收的83.45%；工程部門(mén)是為石化和化工等行業(yè)提供烯烴設(shè)備、天然氣設(shè)備、空氣分離設(shè)備以及氫氣和合成器設(shè)備，該部門(mén)2016 年實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入23.51 億歐元，占司總營(yíng)收的13.17%。

林德集團(tuán)近年?duì)I業(yè)收入及毛利率變化

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林德氣體（Linde）于20 世紀(jì)80 年代涉足電子特種氣體領(lǐng)域，并開(kāi)始布局歐洲市場(chǎng)。2001年林德公司電子特種氣體業(yè)績(jī)迎來(lái)大幅增長(zhǎng)，林德公司（Linde）決定2002 年在非洲阿爾及利亞建立高純氦氣生產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)氦氣自給。生產(chǎn)線達(dá)產(chǎn)后，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)能1700 萬(wàn)立方米/年，占世界總產(chǎn)量的10%。2003 年，林德氣體（Linde）進(jìn)一步深入中國(guó)電子市場(chǎng)，在上海建造了一座生產(chǎn)硅烷等電子氣體的工廠（現(xiàn)上海比歐西氣體工業(yè)有限公司），同時(shí)在臺(tái)灣建造了生產(chǎn)高純度產(chǎn)品的空氣分離工廠，實(shí)現(xiàn)東亞電子產(chǎn)業(yè)特種氣體覆蓋。

2004 年，林德氣體（Linde）通過(guò)收購(gòu)歐洲一家為提供硅烷、乙二醇、氮?dú)夂蜌鍤獾忍胤N氣體及相關(guān)服務(wù)的合資企業(yè)MNS NIPPO Sanso，來(lái)提高公司在電子氣體貿(mào)易中的位置。2005 年，林德又收購(gòu)了美國(guó)Spectra Gases 公司，SpectraGases 公司主要研究生產(chǎn)高純度特種氣體和化學(xué)品，收購(gòu)前年銷售額達(dá)5000 萬(wàn)歐元，收購(gòu)?fù)瓿珊?，林德氣體（Linde）在國(guó)際電子特種氣體市場(chǎng)的地位進(jìn)一步加強(qiáng)。

2007 年，林德氣體（Linde）緊隨市場(chǎng)變化，開(kāi)始重點(diǎn)關(guān)注特種氣體在光伏領(lǐng)域的發(fā)展。林德先為奧地利第一個(gè)光伏電池廠提供特種氣體，后又獲得臺(tái)灣聯(lián)電集團(tuán)子公司聯(lián)相光電新建的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線第一份氬氣、氫氣、硅烷和三氟化氮供貨合同。次年，林德又在徐州新建氣體生產(chǎn)設(shè)施為光伏領(lǐng)軍企業(yè)保利協(xié)鑫供應(yīng)氣體。

2016 年，林德氣體（Linde）進(jìn)一步擴(kuò)大運(yùn)營(yíng)規(guī)模，收購(gòu)了法國(guó)液化空氣公司在韓國(guó)的通用工業(yè)氣體和電子特種氣體兩塊業(yè)務(wù)，進(jìn)一步擴(kuò)大了林德氣體在韓國(guó)的運(yùn)營(yíng)規(guī)模，與林德現(xiàn)有產(chǎn)品和服務(wù)形成互補(bǔ)，從而更好地為三星、LG 化學(xué)和SK海力士等韓國(guó)大型企業(yè)提供產(chǎn)品和服務(wù)。

經(jīng)過(guò)近幾十年的發(fā)展，林德氣體（Linde）在電子特種氣體領(lǐng)域積累了豐富的技術(shù)經(jīng)驗(yàn)和客戶資源，目前林德已經(jīng)成為全球電子特種氣體的領(lǐng)先廠商。據(jù)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，林德氣體目前占據(jù)著全球電子特氣市場(chǎng)8%的市場(chǎng)份額。

林德氣體（Linde）現(xiàn)今可以提供支持所有半導(dǎo)體、TFT-LCD 平板和LED 制造工藝的全品類、高純度的電子特種氣體，包括氮?dú)夂秃獾认♂寶猓榛龤?、磷化氫和鍺化氫等摻雜用氣體，三氯化硼和二氟化氙等刻蝕用氣體，氨氣、硅烷和六氟化鎢等沉積用氣體以及氟氣和三氟化氮等清洗用氣體。其中，氮?dú)夂桶睔獾冗€可以為客戶提供現(xiàn)場(chǎng)制氣裝置，林德SPECTRA 氮?dú)獍l(fā)生器最大可實(shí)現(xiàn)55000Nm3/h的輸出量。同時(shí)氮?dú)夂桶睔饧兌雀哌_(dá)99.99999%（7N），氦氣純度高達(dá)99.99995%（6N5），純度水平遙遙領(lǐng)先同行業(yè)。

林德氣體電子特種氣體主要產(chǎn)品及純度

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林德氣體（Linde）還首創(chuàng)利用分子氟取代NF3、C2F6 等傳統(tǒng)清洗用氣體。半導(dǎo)體清洗工藝主要是去除CVD 腔室和硅片上的粒子和金屬污染物和有機(jī)物，在蝕刻、布線工序后去除抗蝕刻膠等化合物，以及CMP（化學(xué)機(jī)械平坦化）后的清洗。半導(dǎo)體清洗分為濕法清洗和干法氣相清洗，自20 世紀(jì)90 年代以來(lái)，由于F2 在運(yùn)輸和貯存存在難題， NF3、C2F6 等含氟氣體憑借其優(yōu)良性能一直作為傳統(tǒng)干法清洗用氣來(lái)滿足半導(dǎo)體清洗的需要。但這些氣體會(huì)帶來(lái)嚴(yán)重的溫室效應(yīng)，其中NF3 具有比CO2 高17,200 倍的GWP（GlobalWarming Potential,全球變暖潛能值：指在100 年的時(shí)間框架內(nèi)，各種溫室氣體的溫室效應(yīng)對(duì)應(yīng)于相同效應(yīng)的二氧化碳的質(zhì)量），C2F6 具有比CO2 高9600 倍的GWP。隨著對(duì)全球氣候變暖問(wèn)題的關(guān)注度越來(lái)越高，各國(guó)政府對(duì)企業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中溫室氣體的排放也采取更加嚴(yán)厲的標(biāo)準(zhǔn)。為了減少這些溫室氣體的排放，大多數(shù)電子制造商已經(jīng)加大成本安裝了高性能的洗滌系統(tǒng)，來(lái)減少清洗過(guò)程中NF3、C2F6 等氣體的排放，但在整個(gè)生產(chǎn)流程中，運(yùn)輸和使用過(guò)程中仍然存在排放風(fēng)險(xiǎn)。

在這背景下，林德氣體（Linde）研發(fā)出現(xiàn)場(chǎng)氟發(fā)生器，利用現(xiàn)場(chǎng)電解HF 的方法，克服了運(yùn)輸和貯存的難題，向生產(chǎn)企業(yè)直接供應(yīng)F2，來(lái)取代NF3、C2F6 等傳統(tǒng)清潔氣體。與溫室氣體不同，F2 不吸收紅外輻射,也不會(huì)將紅外輻射轉(zhuǎn)化為熱能，因此其全球變暖潛能值（GWP）為零，不會(huì)造成任何溫室效應(yīng)。同時(shí)，F2 具有更高的清洗效率，NF3 的清洗過(guò)程通常使用遠(yuǎn)程等離子體源（RPS）來(lái)激活NF3，但是F-N 鍵需要比簡(jiǎn)單的F-F 鍵更多的能量來(lái)打破，因此對(duì)于給定的RPS 單元，與NF3 相比，F2 可以獲得更高的F 流量；同時(shí)使用NF3 中N基團(tuán)會(huì)阻礙清潔過(guò)程中的效率，因此F2 的使用可以提升清潔速度至原來(lái)的5倍，清洗周期明顯縮短。

成本方面，雖然下游客戶需要為現(xiàn)場(chǎng)制氟裝置提供一定的占地面積和安裝相關(guān)配套設(shè)施。但從長(zhǎng)遠(yuǎn)角度看，一方面，F2 價(jià)格與NF3 價(jià)格相比，非常具有競(jìng)爭(zhēng)力，而清洗過(guò)程中，主要是利用NF3 中的F 基團(tuán)進(jìn)行清洗，而80 公斤的F2 可產(chǎn)生與100 公斤NF3 相同量的F 基團(tuán)，F2 更具性價(jià)比；另一方面，林德氣體將制氣、純化、壓縮等集成于一體化設(shè)備，可以直接在電子制造商生產(chǎn)線現(xiàn)場(chǎng)為其按需生產(chǎn)清洗氣，節(jié)省了長(zhǎng)途運(yùn)輸成本和貯藏成本，同時(shí)使用F2 也降低了企業(yè)以前排放溫室氣體所帶來(lái)的合規(guī)成本。因此，整體來(lái)看，現(xiàn)場(chǎng)制氟裝置會(huì)為下游客戶帶來(lái)成本減少效益。到目前為止，林德氣體（Linde）已經(jīng)在11 個(gè)國(guó)家為超過(guò)30條半導(dǎo)體生產(chǎn)線安裝了現(xiàn)場(chǎng)制氟裝置。