急也沒(méi)用。

新冠肺炎疫情在全球持續(xù)蔓延，對(duì)各行各業(yè)帶來(lái)不小沖擊，荷蘭光刻機(jī)生產(chǎn)商ASML也受到波及，4月初，ASML更新了2020第一季市場(chǎng)預(yù)期，受疫情影響，ASML的半導(dǎo)體制造設(shè)備交貨不得不往后延期。

ASML作為全球唯一的極紫外光(EUV)設(shè)備生產(chǎn)商，其制造的EUV設(shè)備，是臺(tái)積電、三星半導(dǎo)體、中芯國(guó)際等半導(dǎo)體晶圓代工企業(yè)們發(fā)展先進(jìn)制程工藝不可缺少的關(guān)鍵。出貨延后將對(duì)全球主要半導(dǎo)體生產(chǎn)商造成沖擊，而且影響已經(jīng)直接顯現(xiàn)。

2019年是ASML的EUV光刻機(jī)大幅增長(zhǎng)的一年。

從ASML公布的2019年財(cái)報(bào)來(lái)看，其全年共計(jì)出貨26臺(tái)EUV光刻機(jī)。整個(gè)2019年的營(yíng)收為118.2億歐元，同比增長(zhǎng)了8%，全年凈利潤(rùn)為25.92億歐元。

營(yíng)收類(lèi)別方面，2019年ASML EUV光刻機(jī)的訂單量達(dá)到了62億歐元，營(yíng)收占比從23%提升到了31%。出貨了26臺(tái)EUV光刻機(jī)也比2018年的18臺(tái)有了明顯的增長(zhǎng)。

在三星和臺(tái)積電的推動(dòng)下，未來(lái)一兩年將是EUV工藝大規(guī)模量產(chǎn)的時(shí)間點(diǎn)。ASML預(yù)計(jì)2020年交付35臺(tái)EUV光刻機(jī)，2021年則會(huì)達(dá)到45臺(tái)到50臺(tái)的交付量，是2019年的兩倍左右。

在AMSL去年交付的26臺(tái)EUV光刻機(jī)設(shè)備中，有一半是賣(mài)給了臺(tái)積電。作為ASML最大的客戶，臺(tái)積電在晶圓代工領(lǐng)域獨(dú)占半壁江山，在先進(jìn)工藝制程研發(fā)上也是業(yè)界領(lǐng)先。

滿天芯去年曾報(bào)道，臺(tái)積電的3nm工藝總投資高達(dá)1.5萬(wàn)億新臺(tái)幣，約為500億美元，其中僅僅是建廠花了200億美元。臺(tái)積電原本在4月份舉行技術(shù)論壇會(huì)議，揭秘3nm工藝的計(jì)劃，不過(guò)因?yàn)橐咔橛绊懀F(xiàn)在已經(jīng)延期到了8月底。

此外，滿天芯了解到，因?yàn)橐咔榈穆?，相關(guān)半導(dǎo)體裝備及安裝人員都無(wú)法按期完成，臺(tái)積電3nm工藝原計(jì)劃在6月份進(jìn)行風(fēng)險(xiǎn)試產(chǎn)，試產(chǎn)時(shí)間或?qū)⒀悠诘?0月份。

相應(yīng)地，臺(tái)積電南科18廠的3nm生產(chǎn)線也會(huì)順延一個(gè)季度，原本在10月份安裝設(shè)備，現(xiàn)在也要到2021年初了。

三星作為臺(tái)積電主要的競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手，在先進(jìn)工藝制程的研發(fā)上也是不遺余力的投入，但步伐上較臺(tái)積電還是慢了一些。

在三星去年購(gòu)買(mǎi)的EUV設(shè)備中，本來(lái)數(shù)量就比不上臺(tái)積電，而且還有一部分是用于DRAM生產(chǎn)的，因此5nm工藝所需的EUV設(shè)備還不夠，跟臺(tái)積電相比有較大差距。

在進(jìn)度表方面，臺(tái)積電已有明確的計(jì)劃在2020年第二季度為蘋(píng)果、華為、AMD生產(chǎn)5nm芯片，三星目前尚未提供大規(guī)模量產(chǎn)5nm工藝的詳細(xì)時(shí)間表。而疫情導(dǎo)致的ASML出貨計(jì)劃推遲使得三星與臺(tái)積電的差距會(huì)越來(lái)越大。

不過(guò)有種聲音是，三星本來(lái)就不重視5nm，想在3nm上直接完成對(duì)臺(tái)積電的超越，但滿天芯了解到，三星3nm或許因?yàn)锳SML延期出貨將延期一年。

在2020年初，三星宣布成功構(gòu)建了首批3nm制造原型機(jī)，并計(jì)劃于2021 年開(kāi)始進(jìn)行量產(chǎn)。三星在3nm領(lǐng)域的研發(fā)主要是基于GAA技術(shù)，是一種多閘極電晶體，使芯片更小，處理速度更快，減少了功率消耗，是當(dāng)前FinFET的進(jìn)化版。三星想借此技術(shù)完成對(duì)臺(tái)積電的超越，并成為全球第一家采用的3nm制程的芯片制造商。

但疫情影響了ASML的出貨，三星完成新生產(chǎn)線的設(shè)備安裝能力也受到了限制，韓媒BusinessKorea表示，三星被迫將3nm的量產(chǎn)計(jì)劃推遲到2022 年。

在三星3月份的股東大會(huì)上，三星電子董事長(zhǎng)Kim Ki-nam曾表示：“三星電子與臺(tái)積電在代工業(yè)務(wù)方面存在差距，但我們將通過(guò)在新工藝制程技術(shù)取得的領(lǐng)導(dǎo)地位來(lái)發(fā)展代工業(yè)務(wù)。”但是EUV設(shè)備引進(jìn)延遲，這個(gè)領(lǐng)導(dǎo)地位自然也無(wú)從談起。

3月份中芯國(guó)際的2019年發(fā)布財(cái)報(bào)顯示，在先進(jìn)制程研發(fā)方面，中芯國(guó)際第一代14nm FinFET技術(shù)已進(jìn)入量產(chǎn)，并在2019年四季度貢獻(xiàn)約1％的晶圓收入，預(yù)計(jì)2020年穩(wěn)健上量。而ASML這么一耽誤，中芯國(guó)際的這個(gè)穩(wěn)健上量或?qū)⑹艿接绊憽?/span>

4月初，ASML發(fā)布公告稱(chēng)：“受到新冠病毒疫情影響，公司提供給武漢以及其它地區(qū)客戶的EUV設(shè)備出貨，因旅游限制而被延遲”。

可以肯定所謂的中國(guó)客戶其實(shí)就是中芯國(guó)際，因?yàn)槟壳爸挥兄行緡?guó)際在武漢有一座12英寸晶圓廠，而國(guó)內(nèi)也只有中芯國(guó)際向ASML訂購(gòu)了一臺(tái)EUV光刻機(jī)。

原本中芯國(guó)際計(jì)劃在7nm及以下制程使用EUV光刻機(jī)開(kāi)展，但目前情況來(lái)看中芯國(guó)際7nm的問(wèn)世可能又要推遲不少時(shí)間。

隨著摩爾定律逐漸走到極限，先進(jìn)制程的技術(shù)、設(shè)備、資金壁壘也越來(lái)越高，如今先進(jìn)制程玩家僅剩英特爾、臺(tái)積電、三星三家（中芯國(guó)際還有一定差距）。

英特爾擠牙膏就暫且不提，三星和臺(tái)積電在5nm、3nm甚至是2nm上的競(jìng)爭(zhēng)可以說(shuō)是相當(dāng)激烈，雙方的投入都是按百億美元為單位計(jì)，但是在關(guān)鍵時(shí)期卻在ASML這一環(huán)節(jié)出了問(wèn)題，三星和臺(tái)積電雖然著急但也無(wú)可奈何。可以確定的是，未來(lái)集成電路仍將不斷向更細(xì)微的尺寸發(fā)展，高端代工之間的競(jìng)爭(zhēng)將進(jìn)一步加劇。

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