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近日，國家大基金再次出手投資集成電路設(shè)備企業(yè)。 國家企業(yè)信用信息公示系統(tǒng)顯示，1月7日睿勵科學儀器（上海）有限公司（以下簡稱“睿勵科學儀器”）發(fā)生股權(quán)變更，新增國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司（以下簡稱“國家大基金”）、上海同祺投資管理有限公司、海風投資有限公司3家股東；與此同時，注冊資本由1.18億元變更為3.10億元。 根據(jù)天眼查信息，此次國家大基金等入股后，目前睿勵科學儀器的第一大股東為上海浦東新區(qū)國資委旗下的上海浦東新興產(chǎn)業(yè)投資有限公司，持股比例20.75%；第二大股東為睿勵科學儀器董事長及法定代表人呂彤欣所持有的上海盈贏微電子技術(shù)有限公司，持股比例13.99%。 這次新增的3家股東上海同祺投資管理有限公司、國家大基金、海風投資有限公司依次位列第三、第四、第五大股東，其中國家大基金認繳出資額為3758.24萬元，持股比例12.12%。 近半年來，國家大基金不止一次投資集成電路設(shè)備企業(yè)。2019年9月，國家大基金投資入股精測電子旗下專注于半導體測試設(shè)備的子公司上海精測；同年10月，國家大基金與中科儀簽署協(xié)議，戰(zhàn)略投資中科儀真空干泵產(chǎn)業(yè)化升級。 如今，國家大基金再次將目光聚焦于設(shè)備領(lǐng)域，正式將睿勵科學儀器納入“國家隊”。 資料顯示，睿勵科學儀器成立于2005年，致力于研發(fā)、生產(chǎn)和銷售具有自主知識產(chǎn)權(quán)的集成電路生產(chǎn)制造工藝裝備產(chǎn)業(yè)中的工藝檢測設(shè)備。 據(jù)中微公司此前指出，睿勵科學儀器自主研發(fā)的12英寸光學測量設(shè)備TFX3000系列產(chǎn)品，已應用在28納米芯片生產(chǎn)線并在進行14納米工藝驗證，在3D存儲芯片上達到64層的檢測能力。 關(guān)于集邦咨詢（TrendForce）
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