1.如何消除涂布箭影：% V$ U& f) l$ b" V! R  [) o
1.了解產(chǎn)線roller使用的光阻（是否與我們制程用的一致、光阻的保質(zhì)期是否過期）、清洗機（保養(yǎng)周期及藥液的添加頻率如果到了保養(yǎng)周期可安排進行保養(yǎng)）、收集現(xiàn)場異常信息，看箭影的形狀、是否箭影里面有臟污。
: u2 h+ N0 ?* V7 G- I2.檢查來料玻璃的潔凈度是否超標、玻璃存放的時間、玻璃是否有剝膜不凈和贓物。取適量玻璃重剝膜一遍。/ S6 b. k/ y% X6 @
3.調(diào)節(jié)下壓量表值把表值調(diào)小，可以讓光阻在玻璃上更容易攤開，（此動作易造成光阻回濺和涂布線條，可把下壓量 適當往回調(diào)）
6 b4 F) X  l  {" D4 o0 d7 q6 d: t4.看Coating  roller 上是否有線條在不影響膜厚的情況下可把前劑量表值減小，可以讓Coating  roller 磨合的更均勻。
* J  H* C" W2 M/ M2 v2 Q5.采用上述方法無法有效消除箭影，可能有異物嵌于roller溝槽中導致磨合效果不佳，用蘸有PGMEA的無塵布擦拭該箭影位置或者保養(yǎng)roller后往往能將箭影消除。  Q1 o* n- \$ o" @  U" ~0 u- L

- A  @1 ~9 U% L/ L2.如何較快的消除線條：
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, y9 c2 q& U8 Z* Z當光阻粘度過濃時出現(xiàn)涂布箭影，增大光阻抽壓頻率、抽壓強度，可較大程度降低Roller上光阻的粘度；
* y9 ?2 J( `0 v當光阻粘度過稀時出現(xiàn)涂布線條，相反的，減小光阻抽壓頻率和抽壓強度，調(diào)節(jié)Roller上的光阻達到其適用的粘度范圍；
+ `) M) L) ?& G當光阻粘度適中時，采用Roller磨合的方式、Coating Roller即停即開的方法可以迅速而有效消除線條；
- g& |9 E, C& x* ]1 D* l當Roller兩端出現(xiàn)線條，且線條在不斷向中間圖形區(qū)蔓延時，為前擠量擠壓量不足所致，適當?shù)募哟笄皵D量可消除線條或不再向圖形區(qū)蔓延；  B: i  G7 q6 O. o
若有一兩條頑固的線條用以上方法仍不能消除，可能有異物嵌于Roller溝槽中導致磨合效果不佳，用蘸有PGMEA的無塵布擦拭該線條后往往能將線條消除。& r. `2 g3 R4 Y# P4 `  v  _

6 e% S9 f5 ~. }; g9 `8 y3、如何快速的保養(yǎng)光阻回濺：9 G+ B$ |. Z# m! n+ E
當出現(xiàn)光阻回濺時，將Coating Roller的下壓量調(diào)節(jié)到3.5mm左右(防止保養(yǎng)時Backup Roller上的PGMEA沾到Coating Roller)，用PGMEA保養(yǎng)相應的回濺位置；
' H5 s" H2 b8 O3 q保養(yǎng)完后用干燥的無塵布輕輕的靠著Backup Roller將PGMEA擦干，注意：不要用干無塵布用力擦干PGMEA，用力擦拭會造成大面積的導輪印.
3 t0 c* i1 q) j% \! g* I; g加大前擠量、盡量減小下壓量(抬高Coating Roller)能一定程度上減小光阻回濺的出現(xiàn)。3 C1 Y3 d8 y4 N& [/ H/ H- u* C1 Z

% b( c: ]" `  ]9 n- S7 Q$ A1.2 Rollar涂布異常& E+ ]! m/ u, X+ q$ |; N

7 f  @* z# L+ ^+ w" |1.2.1涂布針孔
2 C" M6 z" c$ l! i/ [1 A涂布針孔通常是由于玻璃表面的潔凈度不夠造成的。解決對策如下：
. d  W8 R4 ?1 v% x: ^, J1.2.1.1提高清洗段清潔能力：加大毛刷下壓量、提升清洗液濃度、加大水壓、在毛刷段水槽添加H202 、減慢清洗速度；( g" E% i# f2 h  _3 @( m, F
1.2.1.2觀察涂布前玻璃表面水是否吹干，如果沒有，則需要檢查風刀；
  t  ?: p9 G& \, x" o1.2.1.3檢查AP是否開啟；
& N1 m& j* @4 \5 |) X7 O& N1.2.1.4如果玻璃放置時間太長，當清洗能力已經(jīng)調(diào)至最佳時仍然無法解決涂布針孔，則需要考慮將玻璃轉(zhuǎn)到剝膜機重新剝膜一次；% c& i- }+ k# K* m8 Q/ }1 Y2 a0 z
1.2.2涂布箭影! p( v% r* M  G. \( V+ ]
原因主要為Rollar線條和玻璃表面條狀臟污。解決對策如下：
9 j' T  F  ~' Z, c2 }1.2.2.1加大前擠量、加快Rollar旋轉(zhuǎn)速度或加大光阻的供給量以加快Rollar磨合，從而消除線條；' h7 f. w3 q' y5 G
1.2.2.2提高玻璃潔凈度（見清洗異常處理）3 u. }. y3 J, f+ v
1.2.2.3當線條比較多并且擦拭Roller仍無法消除則需要清潔Rollar（此為下策，因為停機時間會較長）。
: d( ^5 _' i& u- j1.2.3膜厚異常% k7 q1 w9 }$ u
觀察膜厚的分布情況,微調(diào)前擠量、下壓量（各個參數(shù)的調(diào)整配合效果見Rollar的涂布說明），調(diào)整無效果時或左右表值相差太大時則需要重新校正Rollar原點。! v# j  {+ g. O0 t, n. Y

3 w2 i2 J% s! A" k0 e1.3 Slit涂布異常
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, m" c6 E9 [( W% z3 N" W7 o" k1.3.1涂布箭影, c; u7 g, t- i" v1 {. O! c
1.3.1.1 Slit涂布箭影原因分為：A刀頭磨損；B成膜速度太快或成膜距離太短；) C+ ?6 o' o# F
1.3.1.2解決對策：A 磨刀頭或換刀頭；B 修改參數(shù)（下刀位置point 3，point 3-4的距離和速度）
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1.3.2膜厚異常
  M& `0 v8 U2 P7 X6 B& ?1.3.2.1膜厚異常的現(xiàn)象通常表現(xiàn)為膜厚偏厚、偏薄以及膜厚不均；1 c# e2 U" J* H; B
1.3.2.2一般原因如下：A噴壓量不符合制程要求；B氣壓不穩(wěn)定；C刀頭不水平；4 A+ f3 A( f! w1 H$ k
1.3.2.3解決對策：A調(diào)整噴壓參數(shù)；B找ME/廠務確認氣壓；C校正刀頭原點。
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/ G3 b2 o! q2 p& T  o1.3.3下刀位置膜厚異常* i. K# P; e! V; R1 j
1.3.3.1現(xiàn)象：A下刀位置膜厚偏厚造成顯影不凈；B膜厚不均造成色差；& n$ p* f7 s$ S3 `6 i8 H
1.3.3.2原因：A下刀速度太慢，收刀時光阻沒有及時回收；B Point3~4 與Point 4~5的速度差太大;/ r" Y8 S0 M6 `, D4 k3 j% Z
1.3.3.3解決對策；A加快成膜速度（與箭影剛好相反）；B減慢涂布速度，提高Acel（加速度）時間；
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